質(zhì)量流量控制器是半導(dǎo)體制造設(shè)備的關(guān)鍵，其利用溫度變化對(duì)應(yīng)于質(zhì)量流量的原理，可以對(duì)不同氣體進(jìn)行流量測(cè)量和控制
質(zhì)量流量控制器的應(yīng)用十分廣泛，可應(yīng)對(duì)毫升級(jí)至數(shù)百升級(jí)的氣體流量控制范圍的工況需求，且不受環(huán)境溫度和壓力的變化影響。
質(zhì)量流量控制器由流量傳感器、分流器通道、流量調(diào)節(jié)閥和控制電路等部件組成，結(jié)構(gòu)如上圖所示。氣體通過質(zhì)量流量控制器（簡(jiǎn)稱MFC）時(shí)，大部分氣體通過層流元件，成比例的部分氣體通過流量傳感器?；诶字Z輸送定理，采用恒溫差方案的熱式傳感器將流量信號(hào)轉(zhuǎn)化為電信號(hào)，以此為基準(zhǔn)測(cè)量當(dāng)前通過MFC的氣體流量大小。微控制器比較設(shè)定信號(hào)與實(shí)際流量的差值，并驅(qū)動(dòng)電陶瓷，實(shí)際動(dòng)態(tài)的調(diào)整當(dāng)前流量大小，已達(dá)到理想的設(shè)定值。質(zhì)量流量控制器的流量控制范圍2-100%F.S.
